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Dépôt Diamant

Machine diamant

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Réacteur de dépôt assisté par plasma micro-onde BJS150

La BJS 150 est un réacteur de dépôt assisté par plasma micro-onde, destiné à la synthèse de films de diamant CVD. Ce réacteur est le fruit de la collaboration entre PLASSYS et le laboratoire LIMHP du CNRS (Villetaneuse). Ce réacteur permet l’élaboration de films de diamant de très haute pureté, à forte vitesse de croissance, grâce à l’utilisation d’un plasma de haute densité de puissance. Sa conception optimisée sur le plan micro-onde et plasma, fait de la BJS un réacteur fiable et robuste, parfaitement adapté aux besoins des laboratoires de R&D. Sa conception de type Bell Jar, le rend particulièrement adapté pour la réalisation de films de diamant dopé.

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